Atomistic Insights into MOCVD Growth of GaAs using a Closed Loop Autonomous System Combining Directed Reinforcement Learning and Kinetic Monte Carlo Simulations

Hrishi V. Harsora, Ashutosh Krishna Amaram, Raghavan Ranganathan, Tarun K. Agarwal

На странице источника доступны аннотация, полный текст или сведения о том, где его прочитать. Препринт может ещё не пройти рецензирование; проверьте, появилась ли журнальная версия.